潔凈室(Clean Room)，也可以稱為無(wú)塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的灰塵微粒、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的潔凈度、壓力、溫度、濕度、氣流（速度、分布）、噪音、照度、靜電進(jìn)行控制，甚至光源的波長(zhǎng)都需要在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
潔凈室目前在電子信息產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空等眾多行業(yè)均有應(yīng)用。根據(jù)行業(yè)的特點(diǎn)與制程要求，無(wú)塵室規(guī)格會(huì)針對(duì)行業(yè)特定有所不同。在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的工業(yè)潔凈室主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染。內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn)）、LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
另外，按照根據(jù)潔凈室內(nèi)氣流的方向的不同，還能夠?qū)⑵浞譃?span style="font-weight: 600;">亂流式、層流式和復(fù)合式。
亂流式
氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的。換氣次數(shù)決定凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
層流式
空氣氣流運(yùn)動(dòng)成均勻之直線形。層流無(wú)塵式靠層流式氣流將臟空氣置換，此型式適用于潔凈等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為兩種。
水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在氣流下游側(cè)污染較嚴(yán)重。
垂直層流式：空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在工藝或者工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
混合式
將亂流式和層流式復(fù)合或并用，能為不同區(qū)域提供不同要求的空氣。在運(yùn)輸通道中，提高HEPA或者ULPA過(guò)濾器的覆蓋率能夠?qū)⒃搮^(qū)域的潔凈度等級(jí)提高至10級(jí)以上；在并裝局部無(wú)塵室，使用隔間墻、Divider等將區(qū)域隔開(kāi)，在要求高的區(qū)域，提高HEPA或ULPA覆蓋率，并采用不混亂的回風(fēng)方式，能達(dá)到較高的潔凈度。
